Ukupanga Incito ya Mafailo ya Kutontonkanyapo

Inshila ya Bunonshi
Ukupeela ifipe fya kukula ne ntulo sha gas: Ukupeela ifipe fya kukulilako ifya filimu iyalanga, pamo nga SiO mu fipimo fimo, lintu balepeela intuntuko sha gas ubulingana ne fintu fya kukula, pamo nga SiH ₄, N, N, na N, na N ₂ ₄ ifya kulya fya gasi.
Ukupanga umuputule wa kuceeceetelamo: Bomfyeni ifintu fimo fine ifya kukula ku kukonkana fipanga ukucila pa fiputulwa fibili ifya kucingililako ifya kutamba pa ciputulwa ca pa nshi. Iciputulwa ca panshi kuti casanshamo iciputulwa ca SiO, ica Si, ne ciputulwa ca kusenda mu kukonkana ukukonka inshila ya kukula kwa mafilimu. Ukupoka ifi fibilikwetemo(2{2}} umutande wa fipimo fyakucingilila (umusango wa kubalilapo uwakucingilila no kulangisha kwa cibili uwakucingilila) nge cakumwenako, cipangwa ukupitila mu kukula kwa cifuba (nga plasma iyakulishe inshila ya kupangamo umulilo iya kemikali). Intampulo shaibela ni ishi:
Ukubomfya kwa pa muulu: Pa numa ya mulimo wa kusangulula amaka pa muputule wa pa nshi, ubike umuputule wa pa nshi pa fibombelo fya CVD.
Imipangile ya cipimo ca fibombelo: ukukonka ukutenta kwa maka ukwa CVD ukufika ku cipimo ca 200-300 no kucefyako ukutenta kwa maka ukufika ku cipimo ca 250-350 .
Ukukula kwa ciputulwa ca kubalilapo ica kuceeceetelamo: Lungikeni ifipimo fya kubalilapo ifya kupanga CVD, ukubikako no bukulu bwa SiH, N, na N, na N, amaka ya gas, amaka ya kubalilapo aya RFD, inshita ya kubalilapo iya kupanga ifikope, na fimbi, nelyo ukulima kwa kubalilapo, nelyo ukulima kwa kubalilapo ukwa kukulilako, no kukusha umubili wa kubalilapo uwa kukusha, kabili pa mulandu wa kuti umuntu ali no kukula kwa kubalilapo. index iya ff iya 1.4-1.71.
Growth of a second anti reflection layer: Adjust the second deposition parameters of the CVD deposition equipment, including the second volume flow rate of SiH ₄, N ₂ O, and N ₂, the second gas pressure, the second RF power of the CVD deposition equipment, the second thin film deposition time, etc., or any combination thereof, to grow a second anti reflection layer on the first anti reflection layer, with a thickness range of 10-2000 na friji iya friji iya 1.4-1.71.

Ubusuma bwa fya sayansi
Ukubomfya ifintu fimo fine ifya kukula, filimu iya kucingililako kuti yafika ku kumona kwa musango umo wine ukulingana na mafilimu ya misango yalekanalekana, ukucefyako imisango ya gas iyabomfiwa, ukucefyako ubukata bwa nshita ya kupekanya, no kulundako icifulo ca kupekanishishamo no kubomba pa mulandu wa kusunga no kubomfya kwa gas mu nshita ya kupekanya.

Ukupanga inshila ya kubilishishamo ₂/TiO ₂ ₂ filimu iyashininkisha

Inshila ya Bunonshi
Ukupekanya ifya kulya ifinono: Saleni ifintu ifituntulu pamo nga gilasi, igalasi lya cifyalilwa, filimu iya mucinshi, na fimbi, no kucita ifya kufumyapo amabala pa kushininkisha ukuti ali uwa busaka kabili uwa lukungu(1}} uwabula. Nga cakabilwa, - ukupalamikwa nangu imiku ibili{4} ukukokololwa ku mbali kuti kwacitwa pakuti ukubomfya kwa lubuuto kube bwino.
Ukupekanya umukonshi wa filimu: umusango wa fikope (TEOS) ne fya kutanga (TBT) fyalundwako ku mibele isuma iyakwata NH ₄ OH mu cipimo cimo, kabili ifyo abantu bacita fyasungwa pa ma-awala 92 aya 92 ku kusanga inshila iyaumfwika - gel.
Ukufimba no kuposha: inshila ya gel iyapekanishiwa iya sol yalibikwa bwino bwino pa cipimo ca pa nshi icaumfwika, no kufimba, ukufuuta, ukufuuta na fimbi ifya kupangapanga kuti fyabomfiwa. Pa numa ya kufimba, SiOO wa sold ₂/TiO TO ₂ terver wa filimu wabikwa mu citofu ica kuposha no kuundapa, ukupanga umusango wa fipe ifingi ifya-.
Ukufimba ukwashinguluka: Bwelelenipo ukufimba no kuposha ukufikila ilyo ukufwaya kwa kulwa kwafwaikwa kwasangwa. Inshita shapusanapusana isha kufwala ne fikonkanine fikakuma imibombele ya mafilimu ayalanga, kabili ukufwailisha no kulundulula filekabilwa.
Ukuposha kwa pa muulu: Ukukulisha ukukosa no kutwalilila kwa filimu iya kulesha, umusango wa menshi ya menshi na ya menshi kuti yafimbwa pa muulu wa filimu iya kulesha.

Ukupanga filimu iyashininkishiwa iya kukansana
Inshila ya Bunonshi
Filimu iyaishibikwa iya kukansana iyashintilila pa silikoni kabili yafimbwa na mafilimu ya kulwisha ukulangisha ku mbali shonse shibili isha mpanga. Imipangile ya filimu iya filimu iyakulangisha iyaibela nga (HL) ^ S, H aimikilila iciputulwa ca Si, L aiminina iciputulwa ca SO, S cimininako inshita ya HL umusango wa HL, kabili umutengo wa S ni ciputulwa pakati ka 3-6. Iciputulwa ca Si cipalamina ku cipimo, kabili umuputule wa SiO uli pa muulu. Inshila ya kufimbilamo ilabomfiwa ku kubika umusango wa filimu ku ciputulwa ca nshita, ne ciputulwa ca filimu ica SiO nge ciputulwa ca kunse, icakwata ukukosa kwa pa muulu kabili icishifwaya ica kucingililamo icalundwako. Ukulundapo, SiO ili na index ilinono, iyo kuti yacefyako ukumoneka kwa pa muulu no kulundapo ukulundako ukutumwa.

Ukupanga inshila iya pamulu nacikwata CO ₂ laser iyalwisha ukutontonkanyapo
pekanishishe iya fya mitekele
Ukusunguluka kwa pa ntanshi: Ukusunguluka kwa pa ntanshi kulacitwa pa lwa kutentemuka kwa tttrum, ukupita kwa ma setiom, no kusela kwa fikope fya fikope ifya zinc ku kufumyapo ifipe mu kati ka fipe fya filimu.
Iciputulwa ca filimu ica kubalilapo: Iciputulwa ca kubalilapo ica httrim, umuputule wa pa mbali uwa zittium, umuputule wa pa mbali uwa zitrali, kabili umusango wa bubili uwa zitrim walibikwa pa muputule wa pa nshi uwa 1 ±1. Icifulo ca kufimbilishishamo cila ciputulwa cicila pali 95% ica cifulo ca pa muulu ica muputule wa pa nshi. Ukukosa kwa mubili ukwa ciputulwa cimo na cimo kuli nge fi: ukukula kwa ku mubili ukwa muputule wa kubalilapo uwa ku nse ya cifuba ni 95-100 ama-manno; Ukufina kwa ku mubili ukwa muputule wa pa muulu uwa mu cifuba ca mubili wa muntu ni 860-870 mu kati; Ukufina kwa ku mubili ukwa muputule wa zinc uwa mu kati ka 240-250; Ukukosa kwa mubili ukwa ciputulwa ca ku numa ica httrum ca 95-100.
 

Ubusuma bwa fya sayansi
Iciputulwa ca nshita icapekanishiwa ica kuceeceetelamo cili no musango wayanguka kabili alikwata umusango usuma. Ukusankanya kwa fiputulwa fine kuli ne mibele ya kukansana kwa mucinshi ukwakulisha, ukutwala pa muulu, umuputule wa mu kati ka cibumba, ukusakamikwa kwalundwako pakati ka fiputulwa fya fipimo, no kukanaputuka kwa fipimo fya fipimo. Kuti cafikilisha ukubomba kwatwalilila ukwa fiputulwa ifyaba mu mibele ya kupya iyakulisha, kabili ifipe ifibomfiwa muli cila ciputulwa tafyakwata amaka, ifishileta ukuonaula ababomfya ne ncende.