bemUlulimi
Ing'anda - Ifyakupanga - uutungulula - Abatwala ifya kupangapanga - Ifyebo
Ubwato bwa Kusangulula Amawafu ya Quartz

Ubwato bwa Kusangulula Amawafu ya Quartz

Ubwato bwa kusamba ifya kufwala ifya quartz ni cibombelo cibomfiwa ku kusangulula ifya kufwala mu nshita ya kupanga ifipe.
Ifyakubomfya: 99.99% amabwe ya fimuti

Tuma ukufwailisha

Ubulondoloshi

Ifishibilo

 

  • Ukushipikisha ukutenta ukwakulisha
  • Ukukanaonaika
  • Ukukanafwala
  • Cayanguka ukuwamya

Ukubomfya: fumyapo ifintu ifibipile pa muulu

Shininkisheni ukuti ukupanga kwa fipe fya kupangapanga kwaba bwino.

 

Ukubomfya

1. Ukuwamya kwa pa ntanshi

Ukubomfiwa ku kutwala ama wafer ukupitila mu cipuna ca menshi nelyo inshila sha kusambamo (ekutiila, ukusamba kwa RCA) ku kufumyapo ifintu ifibipile ifya mweo, ifya mukuba, ne fipimfya ifinono ilyo ukusansa kwa mu kati ukwakulisha -ukusansalikwa nelyo inshila sha kupangamo umulilo tashilacitika.

2. Ukuwamya kwa pa numa ya CMP (Ukupanga ifya kupangapanga ifya kemikali)

Ukusunga ama wafers mu nshita ya kusamba pa numa ya -ukusangulula pa kufumyapo ifyashalapo ifya slurry na ifilubo fya pa muulu, ukushininkisha ukupapatala ukwalinga ukwa nshita shakonkapo isha kupanga amabwe.

3. Intanshi-Ukupwa -iya -Ukupanga

Ukubomfiwa mu fiputulwa fyakusangulula ifya FEOL apo ififulo ifya busaka ififwaikwa ku kukula kwa oxide wa mwinshi, ukubika kwa epitaxial, nangu ukubika kwa ion.

4. Ukubwelela ku numa-Ukupwa -ukwa-Ukubombela

Ici cilatungilila ama wafer mu nshita ya pa numa ya -ukufuuta nangu pa numa ya -ukufuuta pa kufumyapo ifishingacingililwa ku lubuuto, ifipangwa ifyakufuuta, ne fiko ifya fimuti panuma ya kupanga ukuminkanya.

5. Ukupakasa ukwakulisha

Ici cilenga ukuwamya kwa wafer ilyo bashilaya mu kufimba nelyo ukubika mu fipe fya 2.5D/3D IC, ukushininkisha ukuti ifintu tafyakwata ububi pa kuti ifintu fibe bwino.

6. Ukupanga Amaka ya Kupanga Amalaiti

Ukubomfiwa mu kupanga ama cell ya kasuba ku kusangulula ifipe fya silicon, ukuwamya ubusuma bwa pa muulu ku kuwamya ukubomfya kwa lubuuto no kwalula amaka bwino bwino.

 

Ifipe

 

Imibele ya Mubili

Imitengo

Ubusangu

＞99.99%

Ukwanguka

2.2 giramu/sentimita3

Ukumoneka

＞90%

Ukukosa kwa Mohs

5.5--6.5

Icifulo ca Kupilibula

Digili 1280

Icifulo ca Kufuuta

Digili 1750

Icifulo cakufushishapo

Digili 1250

Ukukaba ukwalinga (20 - 350 icipimo )

670J/ikilogalamu. digiri

Ukutwala Umulilo (amadigri 20)

1.4W/m digiri

Ukutwala ubufuba (w/mk, amadigili 1000)

1.0-1.2

Indekisi iya kufitulukila

1.4585

Icipimilo ca Kukulilako kwa Mulilo

5.510 -7sentimita/sentimita digiri

Ukutenta - ukwabomba

Amadigili 1750--2050

Inshita iyipi - Ukutenta kwa Mibombele

Digili 1450

Ukutenta kwa Mibombele ukwa nshita itali -

Digili 1100

 

Imibele ya Makemikali

Imitengo

Ukushipikisha asidi

Asidi uwa maka (ukufumyako fye HF), alkali uwa maka, umusango wa fimenwa

Ukutenta ukwakulisha Ukushipikisha ukubola

Bwino saana

Ifilesangwa mu Bubifi bwa Cimuti

<5 amapipi

 

Imibele ya malaiti

Imitengo

Ukukaana

7107Ω.sentimita

Amaka ya Kucingilila

250~400Kv/sentimita

Icishinte cakukansha

3.7~3.9

Icipimilo ca Kunwa kwa Mafuta

＜410-4

Icipimilo ca Kuloba kwa Dieletiki

＜110-4

 

Imibele ya fyakupangapanga

Imitengo

Amaka ya Kukakatika

1100mpa

Amaka ya Kukotama

MPa

Amaka ya Kukosa

MPa

Ubupiina bwa Poisson

0.14~0.17

Icilangililo ca banono

72000 MPa

Ukucefyako ukucefyako

31000 MPa

 

Inshila shakusangululamo

 

Ukuwamya kwa mu menshi:

Bikeni wafer mu bwato bwa kusamba, lyene mubike ubwato bwa kusamba mu menshi ya kusamba, no kulundako ukulanshanya pa kati ka menshi ya kusamba ne mpanga ya wafer pa kusansabika ubwato bwa wafer pa kuti ukusamba kwawama.

 

Ukuwamya kwakufuuta:

Iminine ubwato bwa kusamba ubwalungama mu muputule wa kusamba, kabili bomfyeni umulomo ku kusamba amenshi ya kusamba pa muulu wa wafer ku kufumyapo ifintu ifibi. 

 

Ubucindami bwa kusangulula amabwato:

  • Ukushininkisha ubusaka bwa wafer: Iciputulwa ca wafer ica busaka calicindama ku kupanga ifipe fya kupangapanga, kabili ubwato bwa kusangulula bulabomba umulimo ukalamba mu mulimo wa kusangulula.
  • Ukushininkisha ukuti ifipe fya kupangapanga fyalicindama: Shininkisheni ukuti ifipe fya kupangapanga fyalicindama no kucefyako ifilubo fya mu fipe pa kufumyapo ifintu ifibipile pa muulu.
  • Ukuwamya ukupanga ifipe fya kupangapanga: Ukuwamya ubusaka bwa fipe fya kupangapanga, eico ukuwamya ukupanga ifipe fya kupangapanga.

Ama Tags aya Kufina: ubwato bwa kusamba amabwe ya quartz, abapanga ubwato bwa kusamba amabwe ya quartz ku China, abapeela ifipe, fakitare

Mwafifini Na kabili Nga

Amabuumba ya mato